2023年7月1日 - Advanced Science Laboratory.inc.

シートビーム電子入射装置は、産業用加工に長い間使用されてきました。このような用途のデバイスは一般に、断面積が大きく、電流密度が比較的低く、ビーム品質に対する要求が最小です。その開発は主に経験則によって行われてきました。最…